1月2日消息,据ASML官方公告,2023年NXT:2050i、NXT:2100i光刻系统的出货许可证被撤销,不过这没有太多可以担心的地方。

按照ASML在去年第三季度财报电话会议上的说法,2023年基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单(至于2024年是不是可以继续,ASML之前就表示不能确定)。

事实上,2023年ASML一直都在向中国客户供应光刻机,其中就包含了NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品,且基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单。

至于先进的7nm、14nm等先进的EUV光刻机,ASML依然不能给中国客户出售。

据ASML官网提供的信息,该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML官网上关于这一台TNXT:1980Di介绍,在分辨率方面,写到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而这是指一次曝光分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光。

作者 富联娱乐

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